【レーザーテック（6920）】何がすごい？EUVマスク検査装置の役割と事業内容を解説

レーザーテックは、半導体回路をウェハへ転写する前に使うフォトマスクやマスクブランクスを検査・計測する装置を手掛ける会社です。半導体チップそのものを量産するメーカーではなく、回路を正しく作るための原板や材料に欠陥がないかを確かめる工程に関わっています。

同社が「何がすごい」と注目される理由は、EUVリソグラフィを使う先端工程にも対応した検査装置を展開し、マスクブランクス、マスク、マスク裏面、ペリクルなど、マスク製造・使用の各段階に関わる製品群を持つ点です。この記事では、製品名を並べるのではなく、半導体製造のどの段階で何を検査する会社なのかを整理します。

レーザーテックは、光応用技術を使った検査・計測装置を提供するメーカーです。主な対象は、半導体回路の原板となるマスクブランクス、回路パターンが描かれたフォトマスク、そしてウェハです。

半導体の製造では、ウェハへ直接回路を描くのではなく、フォトマスクを通して回路パターンを転写します。ここで使うマスクブランクスやフォトマスクに欠陥や異物があれば、その後の工程に影響する可能性があります。レーザーテックは、こうした対象物を光で観察・測定し、製造や品質管理で使う情報を提供します。

同社の事業は半導体だけに限られません。FPD用フォトマスクの検査装置、研究開発や品質管理に使われるレーザー顕微鏡も展開しています。ただし、事業を理解する入口としては、半導体製造で使うマスク関連の検査・計測装置から見るのが分かりやすいでしょう。

フォトマスクは、半導体の回路パターンをウェハへ転写する際に使われる原板です。マスクブランクスは、そのフォトマスクを作るための材料です。半導体の回路が細かくなるほど、マスク側にもより細かなパターンと管理が求められます。

レーザーテックの検査装置は、マスクブランクスの段階では材料内部や表面の欠陥を確認し、フォトマスクの段階ではパターンや異物などを検査します。ウェハ関連では、ウェハエッジ、膜厚、Si厚さ、SiCウェハの欠陥などを対象とした検査・計測装置をそろえています。

重要なのは、同社が「半導体を作る装置」そのものではなく、半導体の回路形成に使う原板や材料を検査・計測する装置を扱うことです。この位置づけを押さえると、半導体関連の中で同社が担う役割を混同しにくくなります。

先端ロジック半導体では、短い波長の光を使うEUVリソグラフィが使われます。レーザーテックは、EUVマスクブランクス欠陥検査・レビュー装置、アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置、EUVマスク裏面検査・クリーニング装置などを展開しています。

「アクティニック」とは、実際の露光に使うEUV光で検査する考え方です。マスクそのものだけでなく、マスクの材料、パターン、裏面、保護膜であるペリクルまで、検査対象は一つではありません。EUVを使う工程では、どの段階の何を確認する装置なのかを分けて見る必要があります。

この表は製品の優劣や売上規模を示すものではありません。検査対象がどこにあるかを整理するためのものです。実際の製品仕様や対応する世代は、公式の製品情報で確認してください。

レーザーテックは、レーザーを使った高解像度化を出発点に、共焦点光学系技術、DUV・EUV光学系技術、光干渉計技術をコア技術として挙げています。対象物の表面や内部を観察し、微細な欠陥や形状を測るには、光源、光学系、画像処理、測定技術を用途に合わせて組み合わせる必要があります。

例えば、フォトマスクの検査では、回路パターンの細かさに応じて必要な検出精度や観察方法が変わります。ウェハでは、エッジ形状、膜厚、厚さ、材料の欠陥など、確認したい項目が異なります。レーザーテックの製品群は、対象物を一括りにせず、検査・計測する箇所ごとに装置を展開している点が特徴です。

このため、「EUV関連」という言葉だけで同社の事業を捉えるよりも、マスクブランクスからフォトマスク、ウェハまでのどこを検査・計測するのかを見るほうが、事業の実態を理解しやすくなります。

半導体検査装置には、ウェハ、マスク、パッケージ、完成品など、確認する対象によって役割の違いがあります。レーザーテックはマスクブランクス・フォトマスクを中心に、ウェハ関連の検査・計測装置も展開しています。

半導体検査装置の全体像や、工程ごとの役割を確認したい方は、下記の記事をご覧ください。

半導体検査装置関連は下記の記事で解説しています。

半導体検査装置関連株まとめ｜検査工程・テスター・マスク検査を手掛ける日本株を整理

レーザーテックが「何がすごい」と注目される理由は、半導体の回路形成に使われるマスクブランクスやフォトマスクを対象に、EUVを含む微細化した工程向けの検査・計測装置を展開しているためです。

半導体関連企業として見る際は、AIやEUVという言葉だけで判断せず、どの工程で、何を検査し、どの製品が使われるのかを確認することが重要です。レーザーテックは、マスク関連を中心に、検査対象ごとに製品群を展開する会社として整理できます。

レーザーテックの2026年6月期第3四半期決算は、下記の記事で解説しています。

レーザーテックの決算は下記の記事で解説しています。

決算分析【レーザーテック(6920)】減速か転換か？サービス急成長で見えた“次の成長モデル”

本記事は投資判断を推奨するものではありません。
最終的な投資判断はご自身の責任でお願いします。

双樹

保全士・制御系エンジニア

FIREを目指して株式投資に挑戦し、学びをブログで発信中。

学生時代に取得した機械保全技能検定と第二種電気工事士を活かし、リーマンショック期に保全職として就職。
アベノミクス期に装置メーカーへ転職し制御設計を経験。
コロナ禍では工場勤務に転職し機械や設備の保守・点検やシステム導入に携わっています。

資格
●機械保全技能検定（電気系保全作業）
●第二種電気工事士
●エネルギー管理士
●2級ボイラー技士
●乙種第4類危険物取扱者